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TECHNICAL ARTICLES公司提供匈牙利Semilab公司SE-2000型、SE-1000光譜型橢偏儀(原法國Sopra公司GES5-E)。WT-2000型、WT-1200A、WT-1200B型、WT-1000型少子壽命測試儀、DLS-83D深能級瞬態(tài)譜儀。
SE-2000光譜橢偏儀(原法國Sopra公司)是的橢偏儀設備供應商,其高精度橢偏儀在半導體、化合物半導體(GaAs/SiC)、LCD和MEMS領域有著非常廣泛的應用。目前有超過500臺的Sopra橢偏儀應用在各個行業(yè)。
主要特點:
SE-2000型橢偏儀
SE-2000是一款的模塊化光學測試平臺,是一款具有可旋轉補償?shù)墓庾V型橢偏儀。它是一種非接觸式和非破壞性的光學測試方法,可以測試基底上的單層膜和多層膜,從而獲得薄膜的厚度和光學特性。該系統(tǒng)具有強大的模塊和多功能設計,可以滿足從簡單到復雜的應用的需求,如偏振測量、散射測量和利用米勒矩陣的橢圓偏振測量技術。它有一個特別的獨立的可選擇角度的臂,和小的光點尺寸。SE-2000型橢便儀具有目前市場上寬的光譜范圍,選擇了選件FTIR橢便儀測試頭,在同一個可見光測試臂上實現(xiàn)光譜范圍從深紫外(193nm)到中紅外的25μm。
它可以使用光譜儀和探測器陣列進行快速檢測,也可以使用分光計和單點探測器進行高分辨率的檢測,也可以再同一工具上同時使用兩種模式
SE-2000橢便儀包括Semilab的智能電子產(chǎn)品,可互換部件,并能使用新一代的操作和分析軟件(SAM/SEA)進行操作和分析。該系統(tǒng)可以使用計算機或者筆記本電腦通過局域網(wǎng)或新的觸摸屏界面來控制。
SE-2000型橢便儀可以和Semilab其他測量儀器結合使用,比如4PP方塊電阻測量、渦流測量、μ-PCR、拉曼測量、光致發(fā)光測量等。
應用:
1)光電子
LED, 光電子產(chǎn)品: AlGaN, GaN, InP等材料測試.
光學反射膜,增透膜, III-V電子器件(EEL, VCSEL, ECL)
MEMS
Sol-Gel/多孔膜
2)太陽能電池應用:
薄膜和硅太陽能電池、納米結構電池等
透明導電氧化物、納米點、納米線、碳納米管CNT等
3)有機物:
OLED, OPV, 傳感器, OTFT
4)半導體:
高k材料、柵氧化層、氮化硅、低K材料等
互聯(lián)線、光刻膠等
外延層: SOI, SiGe, Strained Si, SiC, Poly
5)平面顯示:
TFT-LCD, LTPS, IGZO, OLED, 電致變色膜
6)其他應用:
鐵電材料 (BST, SBT, PZT)
燃料電池SOFC, 多孔電極
石墨烯
3D材料、周期性結構材料
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